中化新网讯 华东理工大学副教授庄黎伟、美国约翰霍普金斯大学教授迈克尔·萨帕希斯领衔的国际合作团队，提出了一种间歇性旋涂化学液相沉积制备非晶态沸石咪唑酯骨架(aZIF)薄膜的方法，实现了薄膜沉积速率和厚度的可控，并进行了电子束光刻和超越极紫外光刻验证。相关研究近日发表于《自然-化学工程》。
据介绍，近年来，aZIF薄膜被用作先进光刻胶。实现aZIF薄膜的大面积、高精度可控制备，对相关领域的先进光刻工艺具有重要意义。
在前期基于超稀释前驱体溶液赋能化学液相沉积法制备aZIF薄膜策略的基础上，研究团队提出了制备aZIF薄膜的新方法。经过系列实验和仿真，研究团队得到了薄膜沉积的本征速率，并揭示了薄膜沉积均匀性的关键影响因素。
研究团队利用该化学液相沉积方法，制备了锌/2-甲基咪唑，锌/苯并咪唑、锌/4,5-二氯咪唑和钴/2-甲基咪唑等多种aZIF薄膜，并对aZIF薄膜作为正型光刻胶和负型光刻胶的图案化性能进行了测试。他们还验证了aZIF薄膜作为光刻胶在下一代光刻技术中应用的可行性。
11月12日-14日，《中国化工报》社有限公司联合彬州市人民政府在西安举办“2025年高分子材料产融大会暨化工产业金融智库第五次年会特开设分论坛聚醚醚酮（PEEK）产业链发展交流会。
10月30～31日，锦西石化公司钳工竞赛团体赛实操环节在维运中心作业场圆满收官。作为企业技能人才培养与技术传承的重要抓手，此次竞赛以“以赛验学、以赛促练、以赛提能”为核心，将技能比拼与生产运维...
中化新网讯11月1日，南昌大学——江西广源化工有限责任公司联合培养博士后叶慧贤出站答辩会，在广源化工科研大楼顺利举行。本次答辩会由井冈山大学副校长隋岩教授，南昌大学张荣斌教授、赵丹教授、蔡建信教授.....
为贯彻落实中央关于发展农业新质生产力的战略部署，破解特色农业连作障碍难题，由大连獐子岛海洋发展集团旗下大连绿峰化学股份有限公司举办的“氯化苦土壤熏蒸技术交流发展大会”11月1日在大连举行。本次会议旨....
“十四五”攻坚收官进入冲刺阶段，中原油田以数字化转型为牵引，锚定“千万吨级一流油气公司”目标，推动一批智能化成果快速落地，老油田正稳步迈向高质量发展的“数智新时代”。
