百傲化学拟投资研发干法刻蚀装备

　　中化新网讯 11月17日，百傲化学发布公告称，其控股子公司苏州芯慧联半导体科技有限公司下属公司芯慧联(佛山)半导体科技有限公司(以下简称佛山芯慧联)拟作为牵头单位，投入自有资金2.19亿元，与国内知名高校、研究机构等签订合作研发项目合同书，共同开发大世代干法刻蚀装备。

　　百傲化学表示，合作研发项目旨在充分发挥其研发团队在大世代刻蚀装备领域深厚的技术积累，共同推动国产大世代刻蚀装备的产业化落地。该项目将为公司持续输出多元化优质产品与服务提供坚实支撑，并通过深化技术协同创新，推动企业研发能力实现跨越式发展，提升自主创新能力和研发体系效率，进一步优化技术研发创新生态，为公司长期可持续发展注入强劲动能。