首款等离子体工艺腔室仿真平台面世

中化新网讯 日前，大连理工大学科研团队研发出国内首款具有自主知识产权的等离子体工艺腔室仿真平台（MAPS）。该平台可在虚拟世界中复现真实的制造过程，以实现产品的提前研发和性能预判。

据介绍，MAPS可以针对原子级制造装备进行全方位仿真，包括外控参数、装置几何结构等，并将给出最终演化结果，从而节省整个部件研发时间，提高研发效率。团队依托大连理工大学学科优势，展开了多年技术攻关、数万次等离子体实验测试。目前，该技术已应用于拓荆科技、华为等多家企业，较国外同类型产品节约经济成本15%、节约时间成本20%。

“我们的团队和国内许多头部企业都开展了深入合作，建立了校企联合实验室，这意味着学生在校期间就可以深入企业参与联合技术攻关项目，这一模式将为相关产业培养出更多的高精尖紧缺人才。”大连理工大学国家重点学科等离子体物理学科教授张钰如说。